AIXTRON 200/4 RF-S Metalorganik Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi (MOCVD)
Metalorganik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) tekniği, buhar fazındaki metalorganik öncüllerin ve hidritlerin (V grubu element ile hidrojenin yaptığı AsH3, NH3, PH3 vb. bileşikler) katı fazdaki…
Detayları incele→