27 Aralık 2024

UNITEMP RTP-100 Hızlı Isıl İşlem Sistemi, metallerin mekanik özelliklerini iyileştirme, yarıiletkenlerin kristalleşmesi ve kusurların giderilmesi gibi çeşitli amaçlarla kullanılan bir tavlama cihazıdır. Bu sistem, malzemelerin vakum ortamında veya istenilen gaz altında yüksek sıcaklıklarda hızlı bir şekilde ısıtılmasını sağlar. İşlem sonrası malzemeler, yavaş ve kontrollü bir şekilde soğutulabilir.

• Çeşitli yarı iletken işlemleri, tavlama, kalite kontrol, hızlı ısıl işlemler, implantasyon sonrası tavlama
• 18 adet kızıl ötesi lamba (20 kW) ile hızlı ısıtma
• Maksimum sıcaklık 1200 °C
• Fırın boyutu: 504 x 504 (700) x 570 mm
• Hazne yüksekliği 18 mm
• Maksimum 4 inç numune kapasitesi
• Alüminyum hazne ve kuvars camdan yapılmış işlem odası
• 50 programlı SPS işlem denetleyicisi
• Vakum yapabilen harici pompa sistemi (10⁻³ hPa’ya kadar)
• 7″ dokunmatik panele sahip SIMATIC® kontrol cihazı
• Azot için Kütle Akış Kontrol Cihazı ile proses gaz hattı
• Mükemmel sıcaklık dağılımı ve homojenlik (≤ ± 1,5 %) sağlar
• Programlanabilir sıcaklık profilleri:
  • Isıtma oranı: Saniyede 150 K, opsiyonel olarak saniyede 200 K
  • Soğutma oranı: T= 1200 °C’den 400 °C’ye: Dakikada 200 K, T= 400 °C’den 100 °C’ye: Dakikada 30 K