27 Aralık 2024

Elipsometre, ışığın bir malzemeden yansıması sırasında kutuplanmasında (polarization) oluşan değişikliği ölçen bir ölçüm tekniğidir. Spektroskopik elipsometre tekniği, malzeme üzerine gelen polarize ışığın polarizasyon durumunu değiştiren optik sistem hakkında bilgi sağlar. Bu teknik, tahribatsız ve hassas avantajları nedeniyle önemli bir ince film ölçüm teknolojisidir. Sıcaklığa bağlı ölçüm aparatı da bulunmaktadır. Böylece sıcaklıkla numune optik parametrelerin değişimini inceleme olanağı da sağlamaktadır.

• Filmlerin kalınlık, kırılma indisi, sönüm katsayısı vb. hakkında bilgi sağlar.
• Spektral aralık: 250 – 1700 nm
• Yüksek hız için adım tarama analizörü
• 20°- 90° arası açılarda ölçüm almaktadır.
• Açı adımları 5°± 0,01° ayarlanabilmektedir.
• 75 W Xe Lamp ışık kaynağı bulunmaktadır.
• 160 mm çapında, yüksekliği ve eğimi ayarlanabilir bir tutucuya sahiptir.
• Şeffaf filmlerin kalınlık aralığı: 0 – 30000 nm
• Absorptif filmlerin kalınlık aralığı: 0 – 30000 nm
• Ölçümü alınan numuneler SE-900 fit programı kullanılarak analiz edilir:
  • Malzeme kütüphanesinde yüzlerce malzeme bilgisi bulunmaktadır.
  • SE-900 fit programı, Cauchy modeli, Sellmeier modeli, Lorentz klasik osilatör modeli ve Tauc-Lorentz modeli gibi modelleri içermektedir.
• Elipsometrik parametrelerin doğruluğu; tg (ϕ) ≤ 0.01, cos (Δ) ≤ 0.0001
• Numunelerin farklı zamanlardaki ölçümlerindeki değişim (ay) Delta’da (Δ) ± 0,01°
• Sıcaklığa bağlı ölçüm ≤400 °C’ye kadar alınmaktadır.