Rigaku SmartLab Yüksek Çözünürlüklü X-Işını Kırınımı
- Su Soğutmalı Cu döner anot, 9kW X-ışını gücü
- Değişken Tüp akım-voltaj: 10-45 kV;20-200 mA
- Ge (220)x4 bounce monokromatör
- In-Plane, Out-Plane, RSM, Reflectivity GIXRD,
- SAXS ölçümleri
- Epitaksiyel ince film ölçümleri için özel simülasyon programları (Global fit, 3D Explorer vb.)
- Haritalama
- Karmaşık aygıt yapılarını (lazer, dedektör, transistör vb.) analiz etme özelliği