Hall Etkisi Ölçüm Sistemi
- Ölçümler: Hall Mobilite Ölçümleri, Hall Voltajı Ölçümleri, I-V Eğrisi Ölçümleri, Direnç Ölçümleri, Magnetodirenç Ölçümleri, Taşıyıcı Konsantrasyon Ölçümleri, Dört ve Altı Kontaklı Direnç Ölçümleri.
- Kontak sayısı 4 ve 6.
- 4 kontaklı van der Pauw ölçümleri; 10 mOhm – 10 MOhm Direnç Ölçümleri (<2% ölçüm kararsızlığı)
- 6 kontaklı Hall Bar ölçümleri; 10 mOhm – 10 MOhm Direnç Ölçümleri (<2% ölçüm kararsızlığı)
- Maksimum Taşıyıcı Yoğunluğu ölçümü: 1×1020 cm-3 Oda sıcaklığında çalışmaya uygun.
- 2 adet standart örnek ile aynı anda çalışabilir.
- Oda sıcaklığında 2.5 cm boşlukta 1.67 T.
Unitemp-100 RTP Sistemi
- Çeşitli yarı iletken işlemleri, tavlama, kalite kontrol, hızlı ısıl işlemler, implantasyon sonrası tavlama
- 18 kızıl ötesi lamba ile hızlı ısıtma
- Maksimum sıcaklık 1200 °C
- Fırın boyutu: 504 x 504 (700) x 570 mm
- Kuvars camdan yapılmış işlem odası
- 50 programlı SPS işlem denetleyicisi
- Vakum yapabilen harici pompa sistemi(10-3 hPa’ a kadar)